ダイシングマシン用センサー

ビジュアルブレード検査 (VBI) センサーは、ウェーハ切断中のブレードのパフォーマンスを継続的に監視し、一貫した品質の確保と、無駄を最小限に抑えます。ブレードの摩耗と形状をリアルタイムで測定することで、スクラップの削減を、生産を止めることなく実現します。

ウェーハに対するブレード位置確認のために、センサーはブレードポジションをチェック(NCS)し、ポジションの間違いによるチップの欠陥発生を抑制します。マーポスは、優れた再現性と、大幅な高速化を実現しています。切断中にブレード破損が検出された場合(BBD)も、センサーによって収集されたデータでリアルタイムに分析され、切断品質とプロセス全体の効率が向上します。センサーはブレードの摩耗レベルを監視でき、ブレードが摩耗し始めたときに作業者へ警告したり、自動交換システムを作動させたりすることができます。

インターフェースユニットは2つのセンサーが接続されます。同じ機能を2つで実行することも、2 つの異なる機能を実行することも可能です。