膜の測定と検査

このステーションでは、マーポスSTIL独自のクロマティックコンフォーカル技術に基づいて、さまざまなプローブの組み合わせが使用されます。それらは機械制御の軸に取り付けられ、測定や段取り替えストロークを自動的に行います。

MC2リニアコンフォーカルカメラなら、従来の光学系を用いる高解像度カメラでは通常は考えられなかった最大2.6 mmの被写界深度で、完璧なフォーカスの超高解像度画像を取得できます。非常に高いサンプリング周波数を用いて表面を短時間でスキャンし、さまざまな種類の欠陥を検出します。

MPLSラインコンフォーカルセンサーを機械軸と組み合わせて使用することで、コンポーネント全体のx-y-z寸法と、特定された潜在的欠陥の評価が行えます。最終的に、これらの欠陥の寸法特性を完全に把握することで、コンポーネントの機能にとってどの欠陥が実際に危険であるかを評価でき、適切な是正措置を講じることができます。

また、コンポーネントの種類や必要な制御に応じて、レーザープロフィロメーター、コンフォーカル/インターフェロメトリックポイントセンサー、リニア/マトリックスカメラなど、さまざまな技術に基づくさまざまなプローブの構成を組み込むこともできます。

たとえば、フロープレートやBPPの制御にポイントコンフォーカルセンサーを使用することで、流路の深さや幅のスキャンニング測定を正確に行えます。