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非接触式の欠陥検査

ビジョンシステムには2つの役割があり、1つは目的の倍率でサンプル表面の高画質画像を得ること、もう1つはあらかじめ定義された特徴または質感を検出、分析するための画像処理です。

処理ユニットはますます機能性を高めている一方で、現在のビジョンシステムの主な制約はその非常に浅い被写界深度にあります(倍率や開口数に応じて数十µm以下)。

この制約によって、大きなZ軸の距離をともなうサンプルや移動するサンプルを視覚化するために、高価で複雑なZ-スキャンシステム、またはオートフォーカス機構、またはその両方が必要になります。

STIL/MC2製品シリーズの欠陥検査ソリューションでは、被写界深度が実視野のソリューションに比べて100倍にも広がり、フォーカシング機構や移動/キャリア平面度の負担を減らします。

 

非接触式の欠陥検査
詳細

クロマティックコンフォーカル顕微鏡法は、非常に深い被写界深度(最大数mm)をともなう光学系の設計を可能にする技術です。

このシステムでは、被写界深度が深く、どの位置のサンプルに対しても、シャープで高画質、しかも完璧なフォーカスの画像が可能になります。

この技術は、カラーコーディングのメリットと従来のコンフォーカル顕微鏡のメリットを兼ね備えています。

クロマティックコンフォーカル顕微鏡は、多色光源によって照らされるスリット、高品質クロマティック対物レンズ、ビームスプリッター、4Kラインカメラから構成されています。

利点
  • 深い被写界深度(DOF)顕微鏡で、0.1 µm単位ではなくミリメートル単位のDOF
  • フォーカシングがほぼ/まったく不要
  • ガラスや鏡面でのフォーカスが可能
  • 解像度(X-Y)サンプル上のピクセルサイズ≥ 0.43 µm * 0.43 µm
  • 最大199,500ライン/秒の高速性
  • 金属(研磨済みまたは粗い面)、ガラス、セラミック、プラスチックなどあらゆる材質で稼働
スペック

モデル

単位

NanoView (new)

MicroView

WireView

DeepView (mk2)

SuperView

型番

 

OPSTM702001

OPSTM704001

OPSTM708001

OPST0706002

OPSTM709001

ライン長さ

mm

1.34

1.8

1.51

4.2

12.85

被写界深度

µm

120

500

900

2600

2000

動作距離

mm

7.4

10.1

7.8

19.5

11.3

最大取得周波数

 

199 500

199 500

199 500

199 500

199 500

倍率

 

17.3

12.9

15.6

5.6

1.8

開口数

 

0.75

0.5

0.75

0.37

0.33

最大サンプル傾斜度

°

43

30

46

20

17

サンプル上のピクセルサイズ

µm

0.43

0.58

0.49

1.35

4.1

光学部:長さ

mm

421.6

412.8

468

400.5

370

光学部:外径

mm

50

50

70

60

60

光学部:重量

g

5300

5200

5800

5850

5600

ダウンロード

BROCHURES AND MANUALS

パンフレット
英語 STIL - General catalogue: (13.23MB)
日本語 STIL - General catalogue: (21.22MB)
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