非接触式の欠陥検査
ビジョンシステムには2つの役割があり、１つは目的の倍率でサンプル表面の高画質画像を得ること、もう１つはあらかじめ定義された特徴または質感を検出、分析するための画像処理です。
処理ユニットはますます機能性を高めている一方で、現在のビジョンシステムの主な制約はその非常に浅い被写界深度にあります（倍率や開口数に応じて数十µm以下）。
この制約によって、大きなZ軸の距離をともなうサンプルや移動するサンプルを視覚化するために、高価で複雑なZ-スキャンシステム、またはオートフォーカス機構、またはその両方が必要になります。
STIL/MC2製品シリーズの欠陥検査ソリューションでは、被写界深度が実視野のソリューションに比べて100倍にも広がり、フォーカシング機構や移動/キャリア平面度の負担を減らします。
