설명
마르포스와 STIL 센서는 두께, TTV, 휨 및 뒤틀림 측정부터 완전한 2D 이미지 및 3D 지형에 이르기까지 다양한 응용 분야를 포괄합니다.
공초점 기술은 고정밀 범프 측정을 생성하는 최적화된 솔루션입니다. 광학 펜은 애플리케이션 요구 사항에 적합하도록 다양한 작동 거리, 측정 범위, 스팟 크기 및 개구수를 제공합니다. 간섭계 제품(IR 및 백색광)도 매우 정확한 측정을 수행하며 투명 및 불투명 재료의 두께를 감지하는 데 사용할 수 있습니다.
라인 센서는 또한 3D 이미징도 허용합니다. 정의된 라인 길이에 대한 동축 획득은 높은 초점 심도와 높은 개구수라는 이점을 유지하면서 고주파로 수행됩니다.
이러한 모든 유형의 센서는 계측 및 검사 장비 내부에 통합될 수 있습니다. 마르포스와 STIL의 수십 년간의 경험은 맞춤형 솔루션과 전용 광학 설계에 사용할 수 있습니다.
장점
- 측면 분해능 < 1μm
- 높이 경사각: +/-45° with NA of 0.75
- Z축에서 서브마이크로미터 정확도 및 나노미터 분해능으로 초당 최대 360.000 측정 포인트
- CLMG / EVEREST를 이용한 범프 측정
- 측정 지점의 위치는 선상에 있거나 고객이 정의할 수 있습니다
- 피사 물체의 깊이 정보(완벽한 초점)
