다이싱 머신을 위한 센서

당사의 Visual Blade Inspector (VBI) 센서는, 센서는 웨이퍼 절단 작업을 혁신적으로 변화시키기 위해 설계되었으며, 정밀성과 신뢰성을 바탕으로 가공절단 중 블레이드 성능을 지속적으로 모니터링하여 품질을 일정하게 유지하고 폐기물을 최소화합니다. 첨단 센서 기술을 통해 블레이드 마모와 형태를 실시간으로 측정하며, 불량률을 줄이고 기존 공정 작업에 원활하게 통합됩니다.

다이싱 공정에서 센서는 블레이드를 모니터링하며 여러 중요한 측면을 다룹니다.
센서는 블레이드의 위치(NCS)를 확인하여 웨이퍼에 대해 올바르게 정렬되었는지 확인합니다. 잘못된 위치 정렬은 칩 결함을 유발할 수 있기 때문입니다. 당사의 기술은 뛰어난 반복성을 유지하면서 경쟁사보다 훨씬 빠릅니다. 공정 중 센서가 수집한 데이터는 실시간으로 분석되어 블레이드 파손(BBD)을 감지하며, 이를 통해 절단 품질과 공정 전체의 효율성을 향상합니다. 또한, 센서는 블레이드 마모 수준을 모니터링하며, 블레이드가 마모되기 시작하면 작업자에게 경고하거나 자동 교체 시스템을 활성화할 수 있습니다. 

센서는 전자 인터페이스 유닛에 연결되어 있으며, 두 개의 센서를 동시에 처리할 수 있습니다. 두 센서는 동일한 기능을 수행할 수도 있고, 서로 다른 기능을 수행할 수도 있습니다.