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비 접촉식 결함 검사

비전시스템은 샘플 소재 표면을 확대하여 우수한 품질로 이미지화 하고, 해당 이미지를 정제하여 샘플의 형태 또는 질감을 감지하고 분석하는 기능을 수행합니다. 


이미지 처리 장치가 더욱 고도화되고 있으나, 현재 비전시스템의 한계는 초점의 심도(dof)가 NA값에 따라 100um 이내로 매우 얕다는 것입니다. 이러한 한계로 인해, 샘플을 Z축 방향으로 더욱 폭넓게 분석하기 위해서는 비싸고 복잡한 Z축 스캐닝 시스템 및 자동초점 메커니즘을 가지는 장비가 필요합니다. 

 

비 접촉식 결함 검사
설명

Chromatic confocal 공초점 현미경의 기술은 매우 깊은 초점 심도(mm단위)가 적용된 광학식 측정 시스템입니다. 초점 심도 범위 이내에 있는 샘플을 정밀하고 우수한 품질을 가진 이미지로 제공합니다. 


이는 기존 공초점 현미경의 장점과 색채 코딩 기술이 결합된 새로운 기술입니다. Chromatic confocal 공초점 현미경은 가시광선을 방출하는 슬릿, 고품질 광학 렌즈, 빔 분리기 및 4K 라인 카메라로 구성됩니다.​

장점
  • 깊은 초점 심도(dof) : mm단위 (0.1um 대비)
  • 자동 초점 조정
  • 유리 및 거울 소재에서도 완벽한 초점 조정
  • X-Y축 분해능(샘플 픽셀 사이즈) ≥ 0.43um x 0.43um
  • 고속 측정 : 초당 199,500라인
  • 금속 소재(광택 및 거친 재질), 유리, 세라믹, 플라스틱 등 광범위한 소재 측정
기술 사양

Product

 

MC2

NanoView

MC2

WireView

MC2

MicroView

MC2

DeepView
 

mk2

MC2

SuperView

Order Code

 

OPSTM702002

OPSTM708002

OPSTM704002

OPSTM706002

OPSTM709002

Line Length

mm

1,34

1,51

1,8

4,2

12,85

Depth of field

µm

120

900

500

2600

2000

Working

distance

mm

7,4

7,8

10,1

19,5

11,3

Magnification

 

17,3

15,6

12,9

5,6

1,8

Numerical

aperture

 

0,75

0,75

0,5

0,37

0,33

Max. sample

slope

°

43

46

30

20

17

Pixel size on

the sample

µm

0,43

0,49

0,58

1,35

4,1

Optical part:

Length

mm

421,6

468

412,8

400,5

370

Optical Part:

Diameter

mm

50

70

50

60

60

Optical Part:

Weight

g

5300

5800

5200

5850

5600
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