厚さ測定用の非接触式ゲージ

マーポスのNCGゲージは、干渉テクノロジーを利用して厚さを測定します。光波が測定対象ワークの異なる表面の接合面で反射し戻された干渉により、層の厚さを計算します。さまざまなタイプのワーク、ガラス、プラスチック、シリコンウェハーの厚さを調整することを目的としています。赤外線光源により、不透明な物質でも測定できます。

マーポスのゲージは、マシンのサイクルタイム、最終製品の品質を維持・向上するとともに、主要工程ステップ中またはその前後のプロセスを制御するように設計されています。

マーポスのNCGは高速処理ゲージであり、いかなるマシンにも接続でき、ワークの厚さを正確かつ迅速に調整できます。技術データの指定限度内であれば乾燥環境でも湿潤環境でも、フィクスチャーまたはマシン内で使用できます。

マーポスのNCG、IRIX、およびSTIL（http://www.stilsa.com/）センサーは、厚さ、TTV、曲がり、反りの測定から全2D画像や3Dトポグラフィーまで、幅広いアプリケーションに対応しています。