詳細
STILのCL-MG光学ヘッドシリーズは、さまざまなモデルのクロマティックレンズ（CL1～CL6）と、6種類の専用拡大鏡（MG420～MG20）から構成され、幅広いアプリケーションで卓越した計測性能（ナノメートルまでの精度）を発揮します。
1995年から最高の品質基準で作られているCL-MGシリーズは、堅牢で信頼性の高い受動部品で構成されており、工業環境や研究室の環境、さらには真空槽、放射能、高温環境などの特殊な環境での使用にも適しています。
すべてのCL-MG光学ヘッドは、測定方向を90°ラジアル方向に変更するなどの各種オプションをともない、STIL ChromaPointコントローラー（CCSシリーズのZENITH、LIGHTMASTER、IRIXなど）に接続することで多様なアプリケーションでの測定や、透明、不透明、光沢、拡散などあらゆる反射率の表面の測定にも対応します。
利点
- 周囲光に影響されない、工業環境に特化
- 軸方向の高い分解能：ナノメートルスケールから（nm）
- 横方向の高い分解能：マイクロメートルスケールから（µm）
- 高い信号/ノイズ（S/N）比
- 黒いカーボン、ガラス、カラーまたは白色セラミック/プラスチック、粗い/研磨済みの金属など、幅広い素材に適応
- 幅広い測定範囲の選択
- 大きな開口数（NA）による急な傾斜への適合
- 同軸（影の影響を受けない）
- «干渉ノイズ»なし
スペック
標準のCCSシリーズ接続時、（*）はCCS PRIMAのみ
|
モデル
|
単位
|
CL1-MG420
|
CL1-MG210
|
CL1-MG140
|
CL2-MG210
|
CL2-MG140
|
CL2-MG70
|
CL3-MG140
|
|
型番
|
|
O3PS0114201
|
O3PS0112101
|
O3PS0111401
|
O3PS0122102
|
O3PS0121402
|
O3PS0127002
|
O3PS0131401
|
|
測定範囲
|
µm
|
150
|
150
|
150
|
400
|
400
|
400
|
1400*
|
|
動作距離
|
mm
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
10.8
|
10.8
|
10.8
|
12.2
|
|
開口数
|
|
0.71
|
0.71
|
0.71
|
0.46
|
0.46
|
0.46
|
0.41
|
|
最大サンプル傾斜度
|
°
|
42
|
42
|
42
|
28
|
28
|
28
|
25
|
|
保護ウィンドウ
|
|
なし
|
なし
|
なし
|
あり
|
あり
|
あり
|
あり
|
|
軸方向モデル
|
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
|
90°屈曲モデル
|
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
|
スポットサイズ
|
µm
|
1.8
|
2.7
|
3.5
|
4
|
5.2
|
8.8
|
6.8
|
|
横方向分解能
|
µm
|
0.8
|
1.1
|
1.3
|
1.7
|
1.8
|
3.7
|
2.6
|
|
測光効率
|
|
0.7
|
3.3
|
10
|
2.8
|
7.9
|
41
|
10
|
|
スタティックノイズ
|
nm
|
6
|
7
|
8
|
17
|
20
|
25
|
50
|
|
軸方向分解能
|
µm
|
0,036
|
0,042
|
0,048
|
0,102
|
0.12
|
0.15
|
0.3
|
|
最大直線性誤差
|
nm
|
25
|
25
|
20
|
55
|
50
|
45
|
150
|
|
測定可能な最小厚さ
|
µm
|
5
|
7.5
|
9
|
14
|
14
|
22
|
38
|
|
長さ
|
mm
|
270
|
243.8
|
209.4
|
243.3
|
208.9
|
176.1
|
208.9
|
|
外径
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
重量
|
g
|
310
|
268
|
195
|
248
|
190
|
189
|
215
|
|
モデル
|
単位
|
CL3-MG70
|
CL4-MG35
|
CL4-MG20
|
CL5-MG35
|
CL5-MG20
|
CL6-MG35
|
CL6-MG20
|
|
型番
|
|
O3PS0137001
|
O3PS0143501
|
O3PS0142001
|
O3PS0153501
|
O3PS0152001
|
O3PS0163501
|
O3PS0162001
|
|
測定範囲
|
µm
|
1400*
|
4000
|
4000
|
12000
|
12000
|
24000
|
24000
|
|
動作距離
|
mm
|
12.2
|
16.5
|
16.5
|
26.6
|
26.6
|
20
|
20
|
|
開口数
|
|
0.41
|
0.32
|
0.32
|
0.2
|
0.2
|
0.12
|
0.12
|
|
最大サンプル傾斜度
|
°
|
25
|
21
|
21
|
14
|
14
|
8.5
|
8.5
|
|
保護ウィンドウ
|
|
あり
|
あり
|
あり
|
あり
|
あり
|
なし
|
なし
|
|
軸方向モデル
|
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
標準
|
|
90°屈曲モデル
|
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
オプション
|
|
スポットサイズ
|
µm
|
11.9
|
12.3
|
19.9
|
24.3
|
40
|
26.8
|
43
|
|
横方向分解能
|
µm
|
4.5
|
4.6
|
7
|
11
|
14
|
11
|
18
|
|
測光効率
|
|
57
|
25
|
91
|
33
|
100
|
9.8
|
43
|
|
スタティックノイズ
|
nm
|
60
|
110
|
135
|
370
|
425
|
750
|
800
|
|
軸方向分解能
|
µm
|
0.36
|
0.66
|
0.81
|
2.22
|
2.55
|
4.5
|
4.8
|
|
最大直線性誤差
|
nm
|
130
|
300
|
250
|
750
|
550
|
1600
|
1200
|
|
測定可能な最小厚さ
|
µm
|
40
|
110
|
120
|
350
|
550
|
590
|
725
|
|
長さ
|
mm
|
176.1
|
145.4
|
130
|
145.4
|
130
|
171
|
155.6
|
|
外径
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
重量
|
g
|
214
|
155
|
140
|
175
|
160
|
195
|
180
|
アプリケーション
CL-MG光学ヘッドのクロマティックコンフォーカル技術は、多くの分野の多様なアプリケーションに適しています。
- 自動車用ガラス
- ガラス容器包装産業
- 電気自動車産業（バッテリー）
- ロールツーロール膜、透明膜、不透明膜（EVバッテリーカバー、フレキシブルエレクトロニクスなど）の測定用途
- 電子産業（PCB）
- 半導体産業（シリコンウェハー）
- CCC産業
- 医療およびマイクロ流体
- マイクロ工学
- 航空宇宙
- 時計製造
- ロボット工学
バージョン
CL-MG光学ヘッドには、150 µm～24 mmの測定範囲で6種類のバージョンがあります。
CL-MG光学ヘッドは6種類の拡大鏡から構成されています。
真空チャンバーや高温環境への適合などの特殊なアプリケーション向けに、CL-MG光学ヘッドごとにカスタマイズできます。
CL-MG光学ヘッドは、ZENITH、CCSシリーズ、IRIX™、LightMasterなどすべてのSTIL ChromaPointコントローラーと互換性があり、光ファイバーで接続します。
