次世代インターフェロメトリコントローラーHorizon（ホライゾン）のご紹介
マーポスは、半導体、3C（コンピューター、通信、家電）、その他ナノメートル精度が不可欠な産業分野の高精度測定アプリケーション用に設計をした高度なインターフェロメトリ技術コントローラーHorizon（ホライズン）を紹介します。
Horizonは干渉法を利用してナノメートルレベルの分解能を実現し、優れた再現性と長期にわたる測定安定性を保証します。機械的な接触をなくすことでドリフトと摩耗を最小限に抑え、ウェーハ検査と平坦性測定、リソグラフィマスクアライメント、マイクロエレクトロニクスコンポーネントテストに最適なソリューションとなっています。
Horizon製品ラインナップは、幅広い波長とセンサータイプを揃えることで汎用性を提供し、さまざまな材料、表面状態、環境の制約に最大限対応します。また、マルチセンサーの互換性により、アプリケーション固有の構成を可能にしながら、最適で安定した測定を維持します。
ハイエンドの産業用アプリケーション向けに設計されたHorizonは、最も厳しい精度と信頼性の基準を満たしています。マイクロ製造プロセスに不可欠なナノメートル分解能を提供し、制御環境と生産環境の両方で安定した動作を保証する堅牢な設計が特徴です。産業計測要件に完全に準拠しており、ポストプロセスとインライン寸法制御の両方をサポートします。
Horizonは、アナログおよびデジタルI/Oによる複数の信号出力形式、フィールドバスおよび高速通信インターフェースによるリアルタイムデータ転送、加えて完全に動的な測定のためのマルチエンコーダ同期により、産業オートメーションシステムにシームレスに統合されます。マスタースレーブ ネットワークアーキテクチャにより、マルチポイント測定アプリケーションで複数のユニットを同期できます。
包括的なソフトウェアが、お客様のHorizonの体験価値を向上させます。これには、さまざまな材料と形状にわたる高度なパラメーター構成のためのMICツール、OEM測定およびオートメーションシステムに直接統合するためのSDKツール、業界固有のアドオンを備えたフル機能の統計的プロセス制御ソフトウェアである Windows® 用 Marposs Quick SPC™ が含まれます。
Horizonは、厳密なプロセス制御、スクラップの削減、品質保証が重要な高精度アプリケーション向けに設計されています。ウェーハアライメント、エッチング深度測定、欠陥検査などの半導体製造プロセス、3C 業界の構造的完全性分析とコンポーネントテストに特に適しています。
マーポスは、Horizonを通じて、精度、速度、堅牢性を兼ね備えた、業界をリードするソリューションを提供し、次世代製造業における厳しい要件に対応します。