技術 -- リークテスト：質量分析（トレーサーガス）

ヘリウム漏れ検出システムの焦点は、お客様のコンポーネントに対する包括的なリークテストを実行すること、および5.0 x 10-3 mbar*L/s～5.0 x 10-8 mbar*L/sの範囲の漏れを検出することです。システムは、真空容器での包括的検査という手法を使用することによって、自動的にコンポーネントの気密性を検証します。この検査では、コンポーネントを真空容器内部に置いて、コンポーネントと真空容器の両方を検査に必要な値まで排気します。その後で、コンポーネントにトレーサーガスで圧力をかけます。システムは、質量分析計リークディテクターを利用することによって、検査対象ワークのすべての漏れからなる総流量を検出できます。このプロセスを経て、最終的な定量的測定データを収集します。グロスリークテストの後は、グロスリークが存在する場合に大量のヘリウムによる真空容器の汚染リスクを抑制することを目的とするメイン検査を実行します。

質量分析計の仕組み

単純化するために、質量分析計は、ヘリウムの質量の測定データを電気信号に変換します。それには、分析計に入る空気をイオン化して、磁場の中に置いた湾曲管に通します。特定の値の磁場では、ヘリウムのみが通過して、それ以外は破棄されます。ヘリウムイオン流によって発生する電流を測定して、漏れを定量化します。

ヘリウムを使用する理由

• ヘリウムは、水素についで2番目に軽い元素であり、重い元素が侵入できない10−11 mbar*L/sのわずかな漏れ口にも侵入できます。

• 希ガスなので不活性であり、他の気体または検査対象ワークとは反応しません。

• ヘリウムはエコロジカルです。無色、無臭、無味、無毒であり、環境内にまき散らされても何の問題も引き起こしません。

• 大気中にはほんのわずか（5 ppm）しか存在しないので、漏れ検出装置のバックグラウンドノイズが非常に低くなり、「質量分析的」に他の気体から高度に分離可能です。

• また、ヘリウムは回収システムで回収できます。したがって、お客様は在庫がなくなるリスクを減らすことができ、購入する必要があるヘリウムの量が減ります。

ヘリウム漏れ検出システムの概要

すべてのヘリウム漏れ検出システムで、以下のものが提供されます。

• 溶接および塗装された鉄骨フレームに組み立てられた、手動または自動の蓋付きの1つ以上の真空容器。真空容器は通常は遮光カーテンで保護されています。

• 検査対象コンポーネントをシステムの処理回路に接続するテストフィクスチャー。

• 真空容器とコンポーネントを真空状態に維持して、解析を実行するために必要な真空ポンプ。

• 1つ以上のリークディテクター（質量分析計）。

• 電気制御盤と空圧式制御盤。

• 15インチタッチスクリーンカラーモニター付き工業用PC。このPCでHMI機能を実行し、PLCはプロセスモニタリングを実行します。 

• 必要な容量に適したヘリウム回収システムも追加できます。

ヘリウム漏れ検出は、以下のようなさまざまな産業分野に適用できます。

• 冷蔵庫

• エアコン

• 自動車

• 航空宇宙

• 消火器

• バルブ

• 食品包装

• 薬剤

• 石油化学

• エネルギー

• マイクロエレクトロニクス