非接触式厚さ測定
STILクロマティックコンフォーカルセンサーは、透過性または段差および対面(フェイスツーフェイス)によって、非接触で厚さを測定するように設計されており、インラインの産業やラボなどのあらゆる環境を対象にしています。
その原理は、屈折率の異なる2つの面の境界面であるジオプトリーの位置を測定し、同時に別のジオプトリーの位置も測定することによります。
2つの距離測定値の差は、光学的な厚さの測定値を示しており、そこから機械的な厚さが推測されます。
複数の層を含んでいるサンプルの測定も、同じ方法を使うことで可能になります。一部のSTILコントローラーでマルチレイヤー測定ソフトウェアを利用できます。
利点
- 軸方向の高い分解能:ナノメートルスケールから(nm)
- 横方向の高い分解能:マイクロメートルスケールから(µm)
- 受動部品のみで構成される光学ヘッド
- 高い信号/ノイズ(S/N)比
- 黒いカーボン、ガラス、カラーまたは白色セラミック/プラスチック、粗い/研磨済みの金属など、幅広い素材に適応
- 幅広い測定範囲の選択
- 大きな開口数(NA)による急な傾斜への適合
- 同軸(影の影響を受けない)
- «干渉ノイズ»なし
詳細
STILセンサーには、1点測定の製品から、ライン上、またはフィールド内に配置した複数の測定点で構成された製品があります。
ChromaPoint光学ヘッドは交換式なので、あらゆるアプリケーションや、透明/不透明/拡散/光沢などのあらゆる表面反射率に対する、高い柔軟性、信頼性、適応性が保証されます。
ガラスのような透明なサンプルの場合、屈折率n=1.5の面を通る経路を基準として、最小厚みの測定値および仕様がデータシートの中に示されています。
同様に、ガラスなどの透明なサンプルの最大厚みは、屈折率に従うものとします。