詳細
インゴットはゆっくりと下降され、切断工程で数時間かけてウェハーに切り出されます。より細いダイヤモンドワイヤーを使用して切断幅を最小化し、単一のインゴットからより多くのウェハーをきわめて高速なスピードで生産しようとすることがトレンドとなっています。
インゴット切断の工程でダイヤモンドワイヤーが破損した場合は、機械を直ちに停止することが重要です。マーポス音響センサーは、インゴット切断機の内部に組み込むことが可能で、これにより機械がワイヤーの破損を検出した直後に機械を停止し、破損後のワイヤー交換作業を容易に行うことができます。
利点
- 機械を直ちに停止し、さらなる損傷を回避
- 高速なワイヤー破損検出(数ミリ秒)
- 機械のバックグラウンドノイズに従い自動でセンサーを設定
- マシンの安全性を向上