半导体生产设备监控

要保证高生产力，关键是做好设备维护，保持生产设备正常可用。马波斯提供设备监控产品，可监控设备部件的状况，被监控的部件取决于传感器所安装的部位，因此，用户可以持续检查设备健康状况。仅当设备部件失效，监控设备为此报警时，才需要维护。

碰撞事故发生时，设备保护功能及时检测碰撞的起始位置并立即停止运动，避免碰撞造成损坏和非计划停机。

描述

马波斯传感器可检测硅锭切片机上金刚丝的断丝故障、监控研磨机上砂轮的修整，或在研磨工序检查振动。马波斯监控系统功能丰富，可分析、保护和优化生产工序。

此外，轴承故障的及早发现关系到设备和主轴振动的可控性，降低后继成本和提高质量。为此，这可以通过对传感器信号（振动、温度和可选重力）的精密评估来实现。监控系统可分别设置报警极限，如果高于或低于此极限值，立即执行所定义的响应。

优势

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