설명
STIL 마르포스 CL-MG 광학 센서 헤드 라인업은 CL1에서 CL6까지 6종류의 Chromatic 렌즈로 구성되고, 각 렌즈는 MG20에서 MG420까지 6종류의 전용 확대 렌즈가 추가로 구성되어 광범위한 어플리케이션 적용 범위와 나노미터 단위까지 정밀한 측정 성능을 제공합니다.
1995년 이래 최상의 품질 기준 하에 개발 및 제조된 CL-MG SERIES는 패시브 타입 부품으로 구성되어 강한 내구성과 신뢰성을 바탕으로 산업 현장 뿐
아니라 실험실, 진공 챔버, 방사능, 고온 환경에서도 사용할 수 있습니다....
CL-MG 광학 센서 헤드 라인업은 모든 모델에 90도 각도로 측정하는 FOLD 타입을 지원하고 CCS SERIES, ZENITH, LIGHTMASTER, MARPOSS IRIX 등 STIL ChromaPoint 컨트롤러와 연결하여 광범위한 측정 어플리케이션 솔루션을 제공합니다. 투명, 불투명 및 반사 소재 등 모든 종류의 표면 재질을 측정할 수 있습니다.
장점
• 산업 환경에 특화되어 대기 중에 반사 영향을 받지 않음
• 높은 Z축 분해능 : 나노미터 단위
• 높은 측면 분해능 : 마이크로미터 단위
• 높은 신호 대 잡음 비율
• 모든 유형의 샘플에 적용 가능
• 다양한 측정 범위 선택 가능
• 높은 NA값을 적용하여 샘플 표면 급경사 측정 가능
• 측정 경로의 Z축 동축화 (그림자효과 영향 없음)
• 표면 빛 난반사로 발생하는 speckle 영향 없음
기술 사양
CCS 컨트롤러 라인업에서 CCS PRIMA 컨트롤러에 연결할 때 적용되는 사양
|
파트 넘버
|
|
CLMG-142-N1
|
CLMG-121-N1
|
CLMG-114-N1
|
CLMG-221-N2
|
CLMG-214-N2
|
CLMG-270-N2
|
CLMG-314-N2
|
CLMG-370-N2
|
|
모델
|
unit
|
CL1-MG420
|
CL1-MG210
|
CL1-MG140
|
CL2-MG210
|
CL2-MG140
|
CL2-MG70
|
CL3-MG140
|
CL3-MG70
|
|
측정 범위
|
µm
|
150
|
150
|
150
|
400
|
400
|
400
|
1400*
|
1400*
|
|
작동 거리
|
mm
|
3,3
|
3,3
|
3,3
|
10,8
|
10,8
|
10,8
|
12,2
|
12,2
|
|
개구수(NA)
|
|
0,71
|
0,71
|
0,71
|
0,46
|
0,46
|
0,46
|
0,41
|
0,41
|
|
최대 경사각
|
°
|
42
|
42
|
42
|
28
|
28
|
28
|
25
|
25
|
|
보호 윈도우
|
|
No
|
no
|
no
|
yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
|
동축 투광
|
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
|
90° 투광
|
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
|
스폿 직경
|
µm
|
1,8
|
2,7
|
3,5
|
4
|
5,2
|
8,8
|
6,8
|
11,9
|
|
분해능_횡방향
|
µm
|
0,8
|
1,1
|
1,3
|
1,7
|
1,8
|
3,7
|
2,6
|
4,5
|
|
광도 효율
|
|
0,7
|
3,3
|
10
|
2,8
|
7,9
|
41
|
10
|
57
|
|
정적 노이즈
|
nm
|
6
|
7
|
8
|
17
|
20
|
25
|
50
|
60
|
|
분해능_축방향
|
µm
|
0,036
|
0,042
|
0,048
|
0,102
|
0,12
|
0,15
|
0,3
|
0,36
|
|
선형 오차
|
nm
|
25
|
25
|
20
|
55
|
50
|
45
|
150
|
130
|
|
최소 측정 두께
|
µm
|
5
|
7,5
|
9
|
14
|
14
|
22
|
38
|
40
|
|
광학 파트:길이
|
mm
|
270
|
243,8
|
209,4
|
243,3
|
208,9
|
176,1
|
208,9
|
176,1
|
|
광학 파트:직경
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
광학 파트:무게
|
g
|
310
|
268
|
195
|
248
|
190
|
189
|
215
|
214
|
|
Part number
|
|
CLMG-435-N1
|
CLMG-420-N1
|
CLMG-535-N1
|
CLMG-520-N1
|
CLMG-635-N1
|
CLMG-620-N1
|
|
Model
|
unit
|
CL4-MG35
|
CL4-MG20
|
CL5-MG35
|
CL5-MG20
|
CL6-MG35
|
CL6-MG20
|
|
Measuring range
|
µm
|
4000
|
4000
|
12000
|
12000
|
24000
|
24000
|
|
Working distance
|
mm
|
16,5
|
16,5
|
26,6
|
26,6
|
20
|
20
|
|
Numerical aperture
|
|
0,32
|
0,32
|
0,2
|
0,2
|
0,12
|
0,12
|
|
Max. sample slope
|
°
|
21
|
21
|
14
|
14
|
8,5
|
8,5
|
|
Protective window
|
|
Yes
|
yes
|
yes
|
yes
|
no
|
no
|
|
Axial model
|
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
standard
|
|
90° folded model
|
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
option
|
|
Spot size
|
µm
|
12,3
|
19,9
|
24,3
|
40
|
26,8
|
43
|
|
Lateral resolution
|
µm
|
4,6
|
7
|
11
|
14
|
11
|
18
|
|
Photometric efficiency
|
|
25
|
91
|
33
|
100
|
9,8
|
43
|
|
Static noise
|
nm
|
110
|
135
|
370
|
425
|
750
|
800
|
|
Axial resolution
|
µm
|
0,66
|
0,81
|
2,22
|
2,55
|
4,5
|
4,8
|
|
Max. linearity error
|
nm
|
300
|
250
|
750
|
550
|
1600
|
1200
|
|
Min. measurable thickness
|
µm
|
110
|
120
|
350
|
550
|
590
|
725
|
|
Length
|
mm
|
145,4
|
130
|
145,4
|
130
|
171
|
155,6
|
|
Diameter
|
mm
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
27
|
|
Weight
|
g
|
155
|
140
|
175
|
160
|
195
|
180
|
어플리케이션
Chromatic confocal 측정 기술이 적용된 CL-MG 광학 센서 헤드는 다양한 산업 현장의 측정 어플리케이션 분야에 적용 가능합니다:
- 비접촉식 표면 거칠기 측정 : ISO25178-602 표준
- 유리, 플라스틱 등 투명 소재의 표면 두께 측정
- 차량용 유리 부품 산업
- 유리 소재 용기 및 포장 산업
- 전자 산업 (PCB)
- 반도체 산업 (silicon wafer)
- R2R 측정 어플리케이션 : 투명 및 불투명 소재 측정 (EV 배터리 필름)
- CCC 산업
- EV 배터리 산업
- 로봇 공학
- 마이크로 역학
- 의료기기 및 미세 유체학
- 항공 산업
- 시계 제조산업
버전
CL-MG 광학 센서 헤드는 측정 범위 150 µm에서 24mm까지 6가지 버전이 있으며, 각 버전은 6종류의 확대 렌즈로 구성됩니다.
CL-MG 광학 헤드를 맞춤형 제작하여 다수 측정 환경이 호환되는 진공 챔버 또는 고온 환경과 같은 특정 분야에 적용할 수 있습니다.
CL-MG 광학 센서 헤드는 광섬유를 연결하여 ZENITH, CCS 라인업, IRIX LIGHTMATSER 등 모든 종류의 STIL 마르포스 ChromaPoint 컨트롤러와 호환하여 사용할 수 있습니다.
