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반도체 제조용 공작기계 모니터링

생산성 수준에 도달하기 위해서는 유지관리 활동을 통해 생산 장비의 가용성을 유지하는 것이 중요합니다. 기계 모니터링 제품을 사용하면 설치된 센서의 위치를 기반으로 기계 부품의 상태를 지속적으로 추적할 수 있습니다. 유지보수 작업은 기계 부품 고장으로 인한 경고가 발생한 경우에만 시작해야 합니다.

충돌이 발생하는 동안에는 기계 모니터링 제품이 이 초기 지점을 감지하여 이동을 중지하므로 즉각적인 충돌로 인한 손상이 발생하지 않습니다. 그러므로 파손 및 계획되지 않은 장비의 정지 시간을 줄일 수 있습니다.

Monitoring of the machine tools for semiconductor manufacturing
설명

마르포스 센서는 인곳 슬라이싱 기계에서 다이아몬드 와이어 파손을 감지하거나 연삭기의 휠 드레싱을 모니터링 하거나 래핑 작업 시 진동을 확인할 수 있습니다. Artis 시스템은 생산 공정을 분석, 보호 및 최적화하는 작업을 수행합니다.

또한 기계 및 스핀들 진동을 제어하고 그에 따른 비용을 절감하며 품질을 향상시키기 위해서는 베어링 손상을 조기에 감지하는 것이 필수적입니다. 이는 센서 신호(진동, 온도 및 옵션 중력)의 정확한 평가를 통해 달성될 수 있습니다. 경보 한계는 개별적으로 설정할 수 있으며, 이 한계치를 초과하거나 밑돌면 정의된 반응을 신속하게 취할 수 있습니다. 

장점
  • Artis 기계 모니터링 시스템이 진동 이상을 안정적으로 감지합니다
  • 진동 센서가 스핀들 및 축의 베어링 상태를 측정합니다
  • 기계 제어 유형에 관계없이 신형 또는 구형 공작기계, 장비 또는 로봇에 쉽게 통합됩니다
  • 시스템은 백그라운드에서 영구적으로 실행될 수 있습니다. 경보 발생 시에만 작업자 개입이 필요합니다
  • 이벤트 레코더 (블랙박스)는 알람 이벤트 (날짜, 시간, 값)를 안정적으로 기록하고 저장된 정보를 추가 평가 및 분석에 사용할 수 있습니다
  • 센서 데이터 및 이벤트 데이터를 CSV 파일로 내보낼 수 있습니다
  • 마모된 구성 요소를 조기에 교체할 수 있으므로 계획되지 않은 운영 중단 시간 및 비용 절감 (예측 유지 보수)이 가능합니다
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