ROLL TO ROLL 공정에서의 필름 두께 측정
전자 분야에서 Roll-to-Roll 공정 (R2R)은 플라스틱 필름이나 금속 호일 롤에 유연하고 큰 표면의 전자장치를 생산하는 방법입니다.
R2R은 연속적인 방식으로 필름 구조를 구축하기 위해 첨가 도금 공정을 사용할 수 있는 두개의 움직이는 재료 롤 사이에서 전달되는 유연한 기판의 연속 처리를 포함하는 제조 기법의 한 계열입니다.
R2R은 오늘날 리튬 이온 배터리 (LIB)용 EV 시장에 적용되는 다음과 같은 중요한 기판 제조 공정의 중요한 기법입니다:
- 금속 호일 (알루미늄 및 구리) 제조
- 분리막 생산을 위한 플라스틱 필름
- 유연한 박막 배터리 전극 (음극 및 양극)
설명
유연한 박막 배터리 제조에서 R2R은 다음 공정 작업에 초점을 맞추고 있습니다:
롤링 공정 (LIB 전극 생산)
- R2R 코팅 및 건조
- R2R 칼렌더링 또는 컴프레싱
- R2R 슬리팅 또는 컷팅
이러한 모든 작업에서 폭 관리를 위한 비접촉 기술 센서와 같은 인라인 품질 및 측정 제어를 통해 전극 생산의 과도한 불량률을 줄이는 것이 중요합니다.
폭 검사는 생산라인 내에서 정확하게 시행되어야 하며, 비접촉 기술을 사용하여 수행해야 합니다. 기존 전통적인 접촉식 솔루션으로 측정할 수 없는 섬세한 재료에 대한 인라인 폭 측정을 수행하기 위해 마르포스/에어로엘은 자체 비접촉 기술인 레이저 스캐너 마이크로미터를 제안합니다.
장점
- 유체 역학 베어링 기술 (볼 베어링 없음)이 적용된 스캐닝 모터는 마모 없이 완벽하게 작동.
- NO-VAR 온도 보상을 통해 실내 온도 변화를 자동으로 보정.
- 영구적인 자가 교정 및 우수한 선형성
- 다양한 응용 프로그램을 저장할 수 있는 기능으로 완전히 재 프로그래밍 가능
- PC, PLC 및 NC에 직접 연결
- 직각 위상 엔코더를 읽고 동기화하기 위한 입력
버전
기술 사양
Version |
XLS40 |
XLS80 |
XLS150 |
측정 영역 |
40 mm |
80 mm |
150 mm |
측정 가능폭 |
0,06 ÷ 38 mm |
0,75 ÷ 78 mm |
0,8 ÷ 149 mm |
반복성 (T=1s, ±2σ) |
+/- 0,07 µm |
+/- 0,2 µm |
+/- 0,4 µm |
스캐닝 주파수 |
1.500 Hz |
||
레이저 소스 |
VLD (Visible Laser Diode); λ = 650 nm |