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Macchine di Misura per Wafer

Il rilevamento di difetti ed il controllo delle caratteristiche dimensionali dei wafer è fondamentale nella produzione di semiconduttori. Strumenti di misura dimensionale e rilevamento difettosità sono utili a monitorare e controllare la qualità di ogni fase della sequenza del processo produttivo dei circuiti integrati.

Wafers metrology machines
DESCRIZIONE

I sensori Marposs e  STIL coprono molte applicazioni di controllo del wafer, a partire dalle misure di spessore, TTV, curvatura o forma ma anche immagini 2D o misure di topografia in 3D.

La nostra tecnologia confocale cromatica è la soluzione ideale per eseguire misurazioni ad alta precisione. Le penne ottiche offrono diverse distanze di lavoro, campo di misura, dimensioni dello spot e aperture numeriche per adattarsi meglio ai requisiti dell'applicazione. Sono inoltre disponibili prodotti di misura interferometrica (IR o luce bianca) per rilevare lo spessore di materiali trasparenti o opachi, eseguendo misure assolute molto accurate.

I sensori di linea consentono di acquisire immagini di misura in 3D: l'acquisizione dell’immagine è intrinsecamente coassiale e viene eseguita ad altissima frequenza con il vantaggio di avere un’elevata profondità di campo ed apertura numerica.

Tutti questi tipi di sensori possono essere integrati all'interno di macchine metrologiche e di ispezione. La decennale esperienza di Marposs e STIL è a disposizione dei nostri clienti per trovare una soluzione personalizzata anche attraverso un prodotto dedicato che richiede ad esempio una personalizzazione del progetto ottico.

VANTAGGI
  • Risoluzione laterale < 1μm
  • Elevata angolazione di misura: +/-45° con NA di 0.75
  • Fino a 360.000 punti di misura al secondo con accuratezza sub-micrometria e risoluzione nanometrica sull’asse Z di misura
  • Misura accurate di bumps/pillars attraverso le nostre penne ottiche della linea CLMG ed EVEREST
  • Flessibilità nel posizionare i punti di misura su una linea o su posizioni definite dal cliente stesso
  • Estesa profondità di campo (perfettamente a fuoco)
Download

BROCHURES AND MANUALS

Catalogo
Inglese SEMICONDUCTORS: (2.27MB)
STIL - General catalogue: (13.23MB)
Italiano SEMICONDUCTORS: (2.63MB)
Tedesco SEMICONDUCTORS: (2.28MB)
Russo SEMICONDUCTORS: (2.23MB)
Giapponese SEMICONDUCTORS: (2.38MB)
STIL - General catalogue: (21.22MB)
Coreano SEMICONDUCTORS: (7.41MB)
Cinese Semplificato STIL - General catalogue: (18.78MB)
SEMICONDUCTORS: (5.06MB)
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