
马波斯新推出先进的Horizon 干涉测量控制器,在半导体、3C(计算机,通信,电子消费)等其它需要纳米级高精度测量的行业,这款光谱控制器无疑都是其理想的选择。
Horizon的工作原理为干涉测量,分辨率高达纳米级,不仅重复精度高,而且长期测量稳定性高。非接触干涉测量,可以最大限度减少热漂移和磨损,充分满足晶圆检测和平面度测量、光刻掩模找正以及微电子器件检测的应用要求。
Horizon产品线柔性高,工作的波长范围大并支持多种传感器,在不同材质、表面状况和环境限制条件下都可测量。也允许使用多个传感器,可根据应用要求定制配置,同时保持理想的测量稳定性。
Horizon可充分满足高科技行业对严苛精密度和可靠性质量标准的要求。精密加工需要纳米级高分辨率,为此需要可靠的结构,以确保检测方案可在测试和生产环境中平稳运行。而且充分满足工业计量要求,可进行尺寸的线下和线上控制。
Horizon设有多种协议的模拟和数字输入输出接口,可以无缝集成工业自动化系统,通过现场总线和高速通信接口实时传输数据,保持多编码器同步,全动态测量。主/从式的网络结构可在多点测量应用中保持测量的同步。
Horizon可运行丰富的软件套件,进一步提升使用体验,例如MIC Tool高级参数配置软件支持大量不同材质和几何特征,SDK Tool软件可集成OEM测量和自动化系统,而马波斯Windows®版Quick SPC™软件可进行全功能的统计过程控制并提供应用行业所专用的插件。
Horizon控制器旨在满足高精度应用的严苛要求,实现生产过程的严格控制、有效降低废品率和确保产品质量。该产品是半导体生产制程的理想选择,包括晶圆找正、蚀刻深度的测量和缺陷检测等,也是3C行业结构完整性分析和组件检测的理想选择。
随着Horizon光谱控制器的上市,马波斯得以为市场提供了行业领先的解决方案,该解决方案结合了精度、速度和稳健性,可满足新一代制造业最苛刻的要求。