晶圆测量机

马波斯STIL传感器可满足许多应用要求，从测量厚度、TTV、弯曲和变形到完整2D成像和3D微观轮廓测量。
光谱共焦是高精度凸点测量的理想技术解决方案。光笔提供不同的工作距离、测量范围、光斑尺寸和数值孔径，满足不同的应用要求。也可用干涉测量仪（红外线和白光）检测透明和非透明的材料厚度，达到极高测量精度。
线扫传感器还能3D成像：在定义的直线全长内同轴、高频采集数据，同时保持大景深和大数值孔径优势。这些传感器都允许集成在测量和检测设备中。
马波斯STIL在数十年的发展中积累了丰富的经验，可为用户提供量身定制解决方案和专用的光学设计。