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非接触式厚度测量

STIL光谱共焦传感器可非接触式测量厚度,在不同应用中测量透明样品或台阶高度差,例如工业生产的线上测量或实验室测量。 

测量原理是测量两个表面位置,即使两个不同反光率表面,也可同时测量另一个表面的位置。2个表面的距离测量值之差为厚度值,用此测量透明样品厚度。

用相同方法可测量多个透明层的样品:部分马波斯STIL控制器支持多层厚度测量。

非接触式厚度测量
优势


 

  • 轴向分辨率:纳米级(nm)
  • 横向分辨率:微米级(μm)
  • 光学笔中仅有无源组件
  • 高信噪比
  • 支持不同类型样品
  • 可选测量范围广
  • 大数值孔径(NA)支持大斜角
  • 同轴(无«阴影»)
  • 无«散斑»
描述

马波斯STIL光学笔由多种型号可选,从单个测量点到沿直线或在区域内分布的多个测量点。

马波斯STIL光学笔可互换使用,可在不同的应用中和不同表面反光率的应用中保持测量高灵活性、高可靠性和高适用性:例如透明、不透明、镜面、漫反射表面。

对于透明样品,例如玻璃,技术参数中所示的最小测量厚度是考虑了光线穿过玻璃折射率n=1.5的情况。 

同样,透明样品的最大厚度也取决于折射率,例如玻璃。

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BROCHURES AND MANUALS

产品资料
英语 STIL - General catalogue: (13.23MB)
日本语 STIL - General catalogue: (21.22MB)
中文 (Simplified Chinese) STIL - General catalogue: (18.78MB)
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