描述
锭材缓慢下降并被线锯切成圆晶片,这个过程长达数小时。
用更细的金刚石线线锯切片是未来趋势,可最大限度减小锯缝宽度,让单个锭材产出更多晶圆,显著提高生产速度。
如果在锭材线锯过程中,金刚石线断线,必须立即停止切片机运动。
马波斯的声发射传感器可集成在锭材切片机内,一旦断线可被立即检测到并立即停止切片机运动,然后,轻松进行后续换线。
优势
- 立即停止切片机,避免进一步损失
- 快速检测断线(数毫秒)
- 根据切片机的背景噪音,自动设置传感器
- 提高设备安全性