Detección de defectos en las obleas

Para objetivos microscópicos, también están disponibles las cámara en línea confocales cromáticas 2D. Para aplicaciones donde son necesarias una resolución muy elevada y una gran profundidad de enfoque, estas ofrecen un enfoque perfecto en el eje Z. Esto las convierte en la solución ideal para inspeccionar los defectos, por ejemplo en el borde de la oblea y durante el proceso de embalaje. Todos estos tipos de sensores pueden integrarse en las máquinas de control de dimensiones e inspección. Las décadas de experiencia de Marposs y STIL  están disponibles para una solución personalizada y un diseño óptico específico.