Marposs präsentiert Horizon, einen hochmodernen Controller mit interferometrischer Messtechnik, der für hochpräzise Messanwendungen im Bereich von Halbleitern, 3C (Computer, Kommunikation, Unterhaltungselektronik) und generell für Industriezweige mit höchsten Ansprüchen, bei denen Genauigkeit bis in den Nanobereich von wesentlicher Bedeutung ist, entwickelt wurde.
Horizon nutzt interferometrische messtechnik, um eine Auflösung bis in den Nanometerbereich zu erreichen und eine außergewöhnliche Wiederholbarkeit sowie langfristige Messstabilität sicherzustellen. Da keine mechanische Berührung stattfindet, sind Drift und Verschleiß auf ein Mindestmaß reduziert. Somit ist Horizon die ideale Lösung für Waferprüfungen und Ebenheitsmessungen, die Ausrichtung lithographischer Masken und die Überprüfung mikroelektronischer Bauteile.
Die Horizon-Produktlinie bietet besondere Vielseitigkeit, da sie eine große Bandbreite von Wellenlängen und Sensortypen unterstützt und sich bestens an verschiedenste Materialien, Oberflächen und Umgebungsbedingungen anpasst. Durch ihre Kompatibilität mit verschiedenen Messköpfen ermöglicht diese Produktlinie anwendungsspezifische Konfigurationen - unter Beibehaltung einer optimalen Messstabilität.
Für anspruchsvolle Industrieanwendungen konzipiert, erfüllt Horizon den höchsten Standard in Bezug auf Präzision und Zuverlässigkeit. Horizon bietet eine Auflösung im Nanometerbereich, die für Fertigungsprozesse von Mikrobauteilen von wesentlicher Bedeutung ist. Das robuste Design gewährleistet sowohl in kontrollierter Umgebung als auch in der Fertigung einen stabilen Betrieb. Völlig konform mit industriellen Messanforderungen, unterstützt Horizon sowohl Post-Process- als auch Inline-Dimensionsprüfungen.
Horizon integriert sich lückenlos in industrielle Automatisierungssysteme und bietet mehrere Signalausgangsformate durch analoge und digitale I/O, Echtzeit-Datenübertragung per Feldbus und High-Speed-Kommunikationsschnittstellen sowie die Synchronisation mit mehreren Drehgebern für volldynamische Messungen. In der Master-Slave-Architektur ermöglicht Horizon die Synchronisation mehrerer Einheiten für Mehrpunkt-Messanwendungen.
Eine umfassende Software-Suite vertieft die Anwendung von Horizon; sie beinhaltet MIC Tool zur erweiterten Parameterkonfiguration für verschiedenste Materialien und Geometrien, ein SDK-Tool zur direkten Integration in OEM-Mess- und Automatisierungssysteme und Marposs Quick SPC™ für Windows®, eine Steuerungssoftware zur statistischen Prozessüberwachung mit allen Schikanen und branchenspezifischen Add-Ons.
Horizon wurde für hochpräzise Anwendungen entwickelt, bei denen engmaschige Prozessüberwachungen, Ausschussreduzierung und Qualitätssicherung wesentliche Rollen spielen. Horizon eignet sich besonders für Halbleiter-Fertigungsprozesse wie Wafer-Ausrichtung, Messung der Ätztiefe und Defektkontrolle, jedoch ebenso für die Analyse der Strukturintegrität und zur Bauteilprüfung in der 3C-Industrie.
Mit Horizon bietet Marposs eine branchenführende Lösung, die Präzision, Schnelligkeit und Robustheit miteinander kombiniert und dadurch die anspruchsvollsten Anforderungen modernster Fertigung erfüllt.