BESCHREIBUNG
Die Sensoren von Marposs und STIL decken eine große Bandbreite an Anwendungen ab, angefangen bei der Messung der Dicke und der Dickenvariation (TTV) über diejenige der Biegung und Verwölbung (Bow & Warp) bis hin zu vollständigen 2D-Abbildungen und 3D-Topographien.
Die chromatisch-konfokale Technologie ist die optimale Lösung, um hochpräzise Bump-Messungen zu erzielen. Lesestifte bieten verschiedene Arbeitsabstände, Messbereiche, Spotgrößen und numerische Aperturen, um sich an die jeweiligen Anforderungen anzupassen. Interferometrische Produkte (IR und Weißlicht) sind ebenfalls erhältlich. Mit ihnen ist die Dickenerfassung sowohl transparenter als auch nicht transparenter Stoffe mit sehr genauen Messergebnissen möglich.
Liniensensoren erlauben auch die Erstellung von 3D-Abbildungen: Eine koaxiale Aufnahme erfolgt mit hoher Frequenz auf einer festgelegten Länge, dabei bleibt der Vorteil einer großen Tiefenschärfenbreite und einer hohen numerischen Apertur erhalten.
Alle diese verschiedenen Sensoren können in Mess- und Prüfmaschinen integriert werden. Marposs und STIL stellen ihre jahrzehntelange Erfahrung zur Verfügung, um genau die richtige, auf Sie zugeschnittene Lösung und das entsprechende optische Design zu finden.
NUTZEN
- Laterale Auflösung < 1μm
- Hoher Neigungswinkel: +/-45&Grad; mit einer NA von 0,75
- Bis zu 360.000 gemessene Punkte/Sekunde mit Genauigkeit unterhalb der Mikrometerebene sowie einer nanometrischen Auflösung auf der Z-Achse
- Bump-Messung mithilfe von CLMG- / EVEREST-Sensoren
- Die Lage der Messpunkte kann auf einer Linie liegen oder vom Kunden definiert werden
- Erweiterte Tiefenschärfe (des perfekten Fokus)
