Détection de défauts sur plaques

Aux fins de microscopie, des caméras de ligne confocales chromatiques 2D sont aussi disponibles. Pour les applications requérant une très haute résolution et une grande profondeur de focalisation, ces dispositifs fournissent une parfaite focalisation sur l’axe Z. Ceci en fait la solution idéale pour la recherche de défauts, par exemple sur le bord de la plaque et lors du processus de packaging. Tous ces types de capteurs peut être intégrés aux équipements de métrologie et d’inspection. La très longue expérience de Marposs et STIL est mise à disposition pour une solution personnalisée et une conception optique dédiée.